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TMC CleanTop光學(xué)平臺(tái)研究級(jí)784系列 提供*的光學(xué)頂部性能。研究級(jí)系列具有業(yè)內(nèi)*性能，它結(jié)合了zui小的單元尺寸、zui高的芯密度、*的CleanTop®設(shè)計(jì)、全鋼結(jié)構(gòu)以及市場上zui高水平的結(jié)構(gòu)阻尼。 研究級(jí)CleanTop適用于苛刻的應(yīng)用，包括干涉儀、全息和超快激光器以及zui嚴(yán)重的地面振動(dòng)環(huán)境

TMC 光學(xué)平臺(tái)Everstill主動(dòng)臺(tái)式隔振器 主動(dòng)消振技術(shù)。適用于小巧輕便的超精密儀器 主動(dòng)硬安裝。無空氣。強(qiáng)大的即插即用設(shè)計(jì) *的振動(dòng)傳感器技術(shù)。采用亞赫茲性能的集成檢波器類型的速度傳感器。比加速計(jì)具有更好的低頻靈敏度。 Gainmatch™可優(yōu)化性能。開關(guān)允許用戶輕松選擇3種增益設(shè)置。這確保了 da程度的消振性能以及不同用戶環(huán)境的穩(wěn)定性。

TMC784系列研究等級(jí)光學(xué)平臺(tái)性能上是工業(yè)中的。它具有TMC*的CleanTop設(shè)計(jì)：小的核心尺寸，高的核心密度設(shè)計(jì)，全鋼結(jié)構(gòu)以及商用高等級(jí)結(jié)構(gòu)阻尼。研究等級(jí)的CleanTop在要求很嚴(yán)苛的領(lǐng)域如干涉儀、全息術(shù)，和超快激光技術(shù)，以及嚴(yán)重的地板振動(dòng)環(huán)境中都被推薦使用。將STACIS® iX 支腿或混合空氣/壓電平臺(tái)振動(dòng)消除系統(tǒng)和此平臺(tái)結(jié)合使用，可以形成好的整體振動(dòng)控制。

STACIS®III主動(dòng)隔振系統(tǒng)主動(dòng)光學(xué)平臺(tái)。采用*的慣性振動(dòng)傳感器，復(fù)雜的控制算法，和*的壓電致動(dòng)器。STACIS通過連續(xù)測量地板活動(dòng)、擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過濾地板振動(dòng)來進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動(dòng)。 初被設(shè)計(jì)用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備