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TECHNICAL ARTICLES可調(diào)諧激光器從實(shí)現(xiàn)技術(shù)上可分為以下三種類型
2021-06-28 可調(diào)諧激光器是指在一定范圍內(nèi)可以連續(xù)改變激光輸出波長的激光器,本產(chǎn)品與其他傳統(tǒng)的固態(tài)激光器相比,具有從近紫外到近紅外的寬波段調(diào)諧范圍,并且其本身尺寸小、線寬窄和光學(xué)效率高,可用于光譜學(xué)、光化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、集成光學(xué)、污染監(jiān)測、半導(dǎo)體材料加工、信息處理和通信等。可調(diào)諧激光器從實(shí)現(xiàn)技術(shù)上看主要分為:電流控制技術(shù)、溫度控制技術(shù)和機(jī)械控制技術(shù)等類型。電流控制技術(shù)是通過改變注入電流實(shí)現(xiàn)波長的調(diào)諧,具有ns級調(diào)諧速度,較寬的調(diào)諧帶寬,但輸出功率較小,基于電控技術(shù)的主要有SG-DBR(采...什么時(shí)候使用主動隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應(yīng)用程序?(第一部分)
2021-05-07 什么時(shí)候使用主動隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應(yīng)用程序?(第一部分)主動系統(tǒng)隔振本章節(jié)將幫助工程師和科學(xué)家對主動隔振系統(tǒng)有一個(gè)大致的了解,它們是如何工作的,什么時(shí)候應(yīng)該應(yīng)用,以及它們有什么限制。由于半導(dǎo)體制造業(yè)在這一領(lǐng)域出現(xiàn)了許多應(yīng)用,因此得到了特別的關(guān)注。5.1歷史反饋控制系統(tǒng)已經(jīng)存在了幾百年,但是在20世紀(jì)有了最大的發(fā)展。在第二次世界大戰(zhàn)期間,這項(xiàng)技術(shù)被用于防御系統(tǒng),取得了非常迅速的進(jìn)展。這些發(fā)展還在繼續(xù),甚至在今天,大多數(shù)關(guān)于控制系統(tǒng)的文本都以戰(zhàn)斗機(jī)控制和倒彈制導(dǎo)系統(tǒng)為例...如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?
2021-02-05 如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?振動對高級浸沒式光刻的影響沒有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動隔振實(shí)現(xiàn)的模式所示的45納米線寬測試圖形是由AmphibianSystems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu),其中包含...主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合Cleanbench-AKTIV
2021-01-18 新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合:CleanBenchAktiv™實(shí)驗(yàn)臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補(bǔ)充。比氣浮性能改善高達(dá)40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz頻率內(nèi)性能提升明顯:提...公司郵箱: zhx@photons.com.cn
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